弋领光电
E-TUNNELING
● 最大管电压 50kV
● 最大管电流（连续/脉冲） 1/10mA
● 焦点 0.1-0.5mm （IEC60336）
● 靶材 钨/钼/铜/金等（可定制）
● 靶角 15°（可定制）（IEC/TR 60788）
| 项目 | 系统参数 |
特性 |
测试标准 |
| 规格参数 | 标称最大管电压 |
50kV |
IEC60613 |
| 最大管电流（连续/脉冲） |
1mA/10mA |
IEC60613 |
|
| 最高脉冲功率 |
500W |
/ | |
| 额定功率 |
50W |
/ | |
| 标称焦点 |
0.1-0.5mm |
IEC60336 |
|
| 靶材 |
钨/钼/铜/金等（可定制） |
/ | |
| 靶角 |
15°（可定制） |
IEC/tr 60788 | |
| 水平出射角 |
90° |
/ | |
| 工作模式 |
连续/脉冲 |
/ | |
|
脉冲上升沿时间（μs） |
<2 |
/ | |
|
脉冲下降沿时间（μs） |
<2 |
/ | |
| 脉冲频率范围（kHz） |
1-20 |
/ | |
| 脉冲宽度占空比（%） |
1-80 |
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| 脉冲触发方式 |
内设定+外部触发 |
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| 供电电压 |
220V |
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| 通信接口 |
RS232 |
/ | |
| 冷却方式 |
强制风冷+液冷 |
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| 过热保护 |
报警/停止工作 |
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| 运行环境 | 温度 |
-10~50℃ |
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| 湿度 |
30~75%（不结露） |
/ | |
| 大气压力 |
70~106kPa |
/ | |
| 结构形式 | 球管与高压发生器采用一体化设计，外接曝光控制器进行通讯与供电 | ||
